离子溅射仪的简单维护
发布时间:2015-06-04 浏览次数:

    离子溅射仪(E-1010)主要用在扫描电镜的样品预处理中,给样品表面镀金,改善样品的导电性。近来经常发生报错(代码E22)不能正常镀金情况,需要进行维护。

一、清洁样品仓

清洁前   清洁后

    仪器使用中会有污染物沉积到样品仓内壁上,一般使用前用干净的布或纸擦拭,再用洗耳球吹净。仪器使用时间长了,有很多金颗粒附在内壁下沿,很难擦除,可以用些金属抛光膏涂在样品仓内,再用纸反复擦拭,就比较容易清理,然后再用酒精清理。

二、调真空度

操作面板

 

    如果清理了样品仓内壁还总是报错,要注意仪器的真空度。通常镀金时仓内压力在7Pa左右,压力在6Pa或更小就容易报错。放好样品,盖上样品仓,启动镀金,观察仪器面板上的压力变化,等仪器正面第二个指示灯(调整真空度)闪动时,调整下面的旋钮,往顺时针压力增大,逆时针压力减小,根据需要仔细调到7Pa附近即可,这样仪器就可以正常镀金了。